Wakuum örtük maşynynyň iş prinsipi

Wakuum örtük enjamy metal inçe filmleri substratyň ýüzüne goýýan enjamdyr.Esasy iş ýörelgesi üç basgançaga bölünýär: arassalamak, bugarmak we çökdürmek.
1. Arassalamak
Buglanýan çöketlikden öň bugarmak kamerasy arassalanmalydyr.Bug bugy kamerasynyň ýüzüne oksidler, ýaglar, tozanlar we beýleki maddalar bolup biler, bu filmiň hiline täsir eder.Arassalamak adatça himiki ýa-da fiziki usullary ulanýar.
2. bugarmak
Islenýän material, gaz molekulalaryny emele getirer ýaly, ereýän nokadyndan ýokary gyzdyrylýar.Soňra gaz molekulalary wakuum kamerasynda bugarmak kamerasyna gaçýarlar.Bu prosese bugarmak diýilýär.Buglanmagyň temperaturasy, basyşy we tizligi filmiň düzümine, gurluşyna we häsiýetlerine täsir edýär.
3. Depozit
Bug bugy kamerasyndaky materialyň gaz molekulalary wakuum turbasynyň üsti bilen reaksiýa kamerasyna girýär, işjeň material bilen reaksiýa berýär we önümi substratyň üstünde goýýar.Bu prosese çökündiler diýilýär.Temperatura, basyş we depgin tizligi filmiň hiline we öndürijiligine-de täsir edýär.
2. Arza
Wakuum örtük maşynlary materiallar, optika, elektronika we beýleki ugurlarda giňden ulanylýar.
1. Materiallar ylym
Wakuum örtük maşynlary dürli metallaryň, erginleriň, oksidleriň, silikatlaryň we beýleki materiallaryň inçe filmlerini taýýarlap biler we örtüklerde, optiki filmlerde, optiki ammarda, displeýlerde, tranzistorlarda we beýleki ugurlarda giňden ulanylýar.
2. Optika
Wakuum örtük enjamy ýokary şöhlelendiriji we ýörite funksiýalary bolan optiki filmleri metal we garyndy filmleri taýýarlap biler.Bu filmler gün panellerinde, ýokary öndürijilikli elektron mikroskoplarda, aerogellerde, UV / IR datçiklerinde, optiki süzgüçlerde we beýleki ugurlarda ulanylyp bilner.
3. Elektronika
Wakuum örtük maşynlary nanoskale elektron materiallaryny we mikroelektron enjamlaryny taýýarlap biler.Bu filmleri nanotransistorlarda, magnit ýatlamalarynda, datçiklerde we beýleki ugurlarda ulanyp bolýar.
Gysgaça aýdanyňda, vakuum örtük enjamy diňe bir dürli inçe film materiallaryny taýýarlamak bilen çäklenmän, zerur bolanda ýörite funksiýalary bolan inçe filmleri hem taýýarlap bilýär.Geljekde wakuum örtük tehnologiýasy has giňden ulanylar we öňe sürler.